微电子科学与技术专家，长期从事半导体存储器和集成电路的微纳加工等方面的研究。1964年4月生于江西丰城市。1985年毕业于合肥工业大学，1988年获该校硕士学位，1998年于北京航空航天大学获博士学位。2015年当选为中国科学院院士。