刘世元 ，华中科技大学机械电子信息工程系教授
研究领域
微纳测试技术及设备，纳米光学测量及仪器，光刻成像理论及应用，在微纳测试技术、纳米光学测量、光学精密仪器、微纳制造技术、步进扫描投影光刻机基础理论与关键技术等方面开展了卓有成效的研究，取得了一批有影响的研究成果。
研究方向
微纳测试技术及设备；纳米光学测量及仪器；光刻成像理论及应用
项目：
1.国家重大科学仪器设备开发专项“宽光谱广义椭偏仪设备开发”，研究年限2011.10-2014.9，在研。
2.国家自然科学基金重大研究计划项目“基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法”，研究年限2015.1-2018.12，在研。
3.湖北省科技支撑计划重点项目“基于MOMES技术的微型光谱椭偏仪研制”，研究年限2015.1-2017.12，在研。
4.国家高等学校博士学科点专项科研基金“光刻掩模板可制造性优化设计理论与方法”，研究年限2013.1-2015.12，在研。
5.国家自然科学基金重大研究计划项目“基于广义椭偏仪的纳米结构三维形貌参数测量理论与方法研究”，研究年限2011.1-2013.12，已验收结题。
6.国家科技重大专项子课题“基于模型的光学临近校正技术研究”，研究年限2012.1-2013.12，已验收结题。
7.国家科技重大专项子课题“基于穆勒矩阵测量的增强型OCD系统关键技术研究”，研究年限2011.1-2013.12，已验收结题。
8.国家科技重大专项委托课题“套刻测量关键技术研究”，研究年限2011.1-2013.12，已验收结题。
9.国家科技支撑计划重点项目委托课题“视觉对准几何模板匹配算法研究”，研究年限2010.6-2011.12，已验收结题。
10.数字制造装备与技术国家重点实验室重点课题“面向规模化制造的纳米结构形貌在线测量理论与方法研究”，研究年限2010.9-2012.12，已验收结题。
11.华中科技大学自主创新基金重点项目“面向22nm节点IC制造的纳米结构三维形貌参数在线测量新方法”，研究年限2010.10-2010.12，已验收结题。
12.国家自然科学基金“高深宽比微纳层次结构的仿壁虎毛参数优化设计与制作工艺研究”，研究年限2008.1-2010.12，已验收结题。
13.国家863重大专项委托课题“投影物镜波像差检测理论与方法研究”，研究年限2007.11-2010.12，已验收结题。
14.国家科技支撑计划重点项目委托课题“光刻机调焦调平技术”，研究年限2007.8-2009.10，已验收结题。
15.教育部新世纪优秀人才支持计划“基于频闪干涉视觉测量和基础激励的MEMS结构实验模态分析理论与方法研究”，研究年限2006.12-2009.12，已验收结题。
16.国家863计划项目“高深宽比微纳深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量方法与设备”，研究年限2006.12-2008.12，已验收结题。
17.国家自然科学基金“基于相似性的时间序列表示与模式发现理论和方法研究”，研究年限2003.1-2005.12，已验收结题
