樊中朝，博士，副研究员，硕士生导师。1998年于河北师范学院物理系获物理教育专业理学学士学位。2001年于北方交通大学光电子技术研究所获凝聚态物理专业理学硕士学位。

人物简介
樊中朝，博士，副研究员，硕士生导师。1998年于河北师范学院物理系获物理教育专业理学学士学位。2001年于北方交通大学光电子技术研究所获凝聚态物理专业理学硕士学位。 2004年于中国科学院半导体研究所获微电子学与固体电子学专业工学博士学位, 期间主要从事硅基光波导器件设计及制备工艺方面的研究，作为主要参与者，参与完成973、863和国家自然科学基金重大项目各一项。同年7月进入中科院半导体所集成技术工程研究中心工作。在国内外核心期刊上发表和合作发表论文20余篇，已获授权专利4项。目前主要从事亚波长表面等离子体金属波导器件及其与SOI波导器件集成方面的研究，还从事多种材料ICP刻蚀机理及其在各种光电子、MEMS器件中的应用研究。

完成项目

1．国家自然科学基金：亚波长表面等离子体激元金属波导与SOI波导集成研究， 负责人。
2．自然基金重点项目：硅基微纳光子器件及集成，子课题负责人。
3．中国科学院仪器功能开发项目：ICP-RIE刻蚀设备改造，负责人。
4．北京市科技计划项目：蓝宝石图形衬底关键工艺技术研究，负责人。
5．北京市科技计划项目：功率器件用硅基GaN外延片研究，技术骨干。
6．863项目：用于400Gb/s相干光通信系统的DP-16QAM光调制器模块，参与。
7．中科院青年人才项目：青年创新促进会课题，负责人。
8．国家自然科学基金：SOI衬底上单电子晶体管的研制，参与。
9．973项目：宽带光纤与无线信息网络中的光子集成与微纳光电集成基础研究， 技术骨干。
10．973项目：硅基微纳光波导传输与单片光电集成技术，骨干
11．863重点项目：高效氮化物LED材料及芯片关键技术，骨干。
12．北京市科技计划项目：蓝宝石图形衬底验证及应用技术，技术骨干。

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