工作职责
掌握实验室各种设备安全操作规程与维护常识
C楼 ICP与RIE、PECVD、SNOM、激光干涉曝光及近红外光学测试平台等设备的责任工程师
气房、气路及气罐的安全和正常运行，各种普气与特气的采购及管理，仪器网上预约系统的维护与管理
实验室安全监督员，负责机房、净化间水、电和气的安全与设备正常运行
相关设备的正常运转、备件及耗材采购、日常维护与定期检测、工艺研究与功能开发
相关设备的人员培训与机时安排、具体操作规程的制定与修改、设备档案的管理
用户操作本实验室设备的管理与监督
简历
2012.10至今 中科院物理所微加工实验室，副主任工程师
2009.7-2012.10 中科院物理所微加工实验室，工程师
2004.9-2009.6 中科院物理所微加工实验室，博士
2000.9-2004.6 北京大学，本科
研究方向
RIE、ICP刻蚀工艺、PECVD镀膜工艺等微纳加工与器件制作工艺研究
人工微纳结构光学特性以及探测传感性能研究
科研成果
近年来合作发表SCI收录论文二十余篇，申请专利十余项
