教育背景
1998.09-2002.07  清华大学机械工程系                                    工学学士
2002.09-2008.07  清华大学精密仪器与机械学系          工学博士
工作履历
2008.07-2010.07  清华大学精密仪器与机械学系设计工程研究所 博士后
2010.08-2012.12  清华大学精密仪器与机械学系设计工程研究所 助理研究员
2013.01-现在              清华大学机械工程系设计工程研究所                            副教授
学术兼职
Engineering Applications of Computational Fluid Mechanics(SCI)  审稿人
Plasma Science and Technology(SCI)                                                审稿人
中国科学?技术科学(SCI)                                                                审稿人
奖励与荣誉
1. 2009年获得国家科学技术进步二等奖(100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化项目,清华大学排名第三,校内主要完成人)
2. 2013年获得清华大学优秀班主任二等奖
研究领域
IC装备多领域建模、工艺仿真与设计
机械设计理论与方法